一种具有双运动基片承载件的系统的发明专利
3819
0
2022/11/04
一种具有双运动基片承载件的系统的发明专利
摘要：
提供了一种处理系统，其包括：真空外壳，其具有多个处理窗口和位于其中的连续轨道；多个处理腔室，其被附接于真空外壳的侧壁，每个处理腔室对应处理窗口中的一个；装载锁定站，其被附接于真空外壳的一端并在其中定位有加载轨道；至少一个闸阀，其将装载锁定站与真空外壳间隔开；多个基片承载件，其被配置成在连续轨道和加载轨道上行进；至少一个轨道交换器，其被定位在真空外壳内，轨道交换器可在第一位置和第二位置之间移动，在第一位置中，使得基片承载件在连续轨道上连续地移动，在第二位置中，使得基片承载件在连续轨道和加载轨道之间输送。
免费查询商标：https://m.epbiao.com/zt/sbcx17/
专利查询：https://m.epbiao.com/theme/zhuanlishenqing/
版权登记：https://m.epbiao.com/banquan/
![[发明专利] 一种高效散热的路灯](https://s1.epbiao.com/Public/upload/article/2022/07-01/62be544481c5f.jpg)
热门评论